半导体机器人研发生产基地在沈阳开工建设
本报讯 记者金晓玲报道 4月30日，省重点项目——中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德（沈阳）高端装备制造产业园开工建设。项目聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，将打造国内领先的集研发、生产、销售为一体的半导体机器人研发生产基地，助力沈阳乃至辽宁战略性新兴产业集群加快发展。
项目由中科芯微智能装备（沈阳）有限公司投资建设，计划总投资额5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米，将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目投产后，预计可年产半导体机器人1000台套，新增产值10亿元。
中科芯微是素珀电子科技（上海）有限公司于2020年在中德装备园设立的高新技术企业，专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化。5年来，中科芯微逐步构建起覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系，累计完成10余项重大科技攻关项目，开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品，突破了相关技术壁垒，在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等领域取得重大进展。
“项目的成功启动，让企业真切感受到沈阳速度与振兴诚意。”素珀电子科技（上海）有限公司董事长、中科芯微智能装备（沈阳）有限公司董事长朱玉东表示，“希望新的研发生产基地建成后，能够吸引更多上下游企业加入，形成产业链聚集发展的良好态势。”
依托域内龙头企业，中德装备园持续提升先进新材料产业发展能级。3月，贺利氏集团在中国规模最大的半导体项目——贺利氏石英沈阳新工厂竣工投产；目前，汉京半导体产业基地等一批项目正加速建设。今年一季度，中德装备园新材料产业集群规模以上企业实现产值75.9亿元，同比增长9.7%，产业规模在沈阳市占近“半壁江山”。
责编：盛 楠
审核：徐晓敬
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